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检漏干货:实漏、虚漏、外漏、内漏的区分

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检漏干货:实漏、虚漏、外漏、内漏的区分

发布日期:2024-05-01 作者:admin 点击:

大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化,特别是用于生产的真空设备,几乎不可避免地会发生真空度下降等问题,造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。


在真空技术领域中,氦检漏技术因其高灵敏度、高精度和可靠性而被广泛应用。然而,在进行氦检漏时,正确区分实漏、虚漏、外漏和内漏对于准确判断泄漏情况至关重要。本文将详细解析这四种泄漏类型的区别和识别方法。


一、实漏与虚漏


实漏是指真空系统内部确实存在的物理泄漏点,氦气能够通过这些泄漏点从系统内部逸出。实漏通常是由材料缺陷、密封件老化、安装不当等原因造成的。在氦检漏过程中,如果检测到氦气泄漏信号,并且该信号稳定且可重复,那么很可能是实漏。


虚漏则是指由于某些非物理原因导致的氦气泄漏信号,如检测设备的误报、环境因素干扰等。虚漏信号通常不稳定、不可重复,或者与实漏信号存在显著差异。为了避免虚漏的干扰,需要确保检测设备正常运行,并严格控制检测环境。


二、外漏与内漏


外漏是指氦气从真空系统外部通过泄漏点进入系统内部,这种情况通常发生在系统的密封件、连接处等位置。外漏会导致系统内部氦气浓度升高,从而影响系统的真空性能。在氦检漏过程中,如果检测到系统内部氦气浓度异常升高,且该异常与检测设备的操作无关,那么很可能是外漏。


内漏则是指氦气在真空系统内部不同部分之间通过泄漏点相互传递。内漏通常发生在系统的管道、腔体等位置。由于内漏发生在系统内部,因此很难直接检测到氦气泄漏信号。然而,内漏会导致系统内部不同部分的氦气浓度分布不均,从而影响系统的稳定性和性能。在氦检漏过程中,如果发现系统内部不同部分的氦气浓度存在差异,且该差异与系统的设计和操作无关,那么很可能是内漏。


下图是一个典型的扩散泵抽气机组,罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的,如果该阀门关闭不严,高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏,这种泄漏就是内漏。和外漏类似,内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。

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三、区分方法


为了准确区分实漏、虚漏、外漏和内漏,可以采取以下措施:


(1)使用高精度、高灵敏度的氦检漏仪进行检测,确保检测结果的准确性和可靠性。

(2)严格控制检测环境,避免环境因素对检测结果的干扰。

(3)对检测到的泄漏信号进行仔细分析,判断其是否稳定、可重复,并与实漏信号进行对比。

(4)结合系统的设计和操作情况,分析泄漏信号的可能来源,确定是否存在外漏或内漏。

(此处可插入图片:展示氦检漏仪的工作原理、泄漏点示意图、系统内部氦气浓度分布图等,以辅助解释和说明。)


四、结论


在真空氦检漏中,正确区分实漏、虚漏、外漏和内漏对于确保系统的真空性能和稳定性至关重要。通过采取合适的检测方法和分析手段,可以准确判断泄漏情况,为系统的维修和改进提供有力支持。


澳门威尼克斯人科技氦质谱检漏仪氦检精准度高,响应速度快,安全性高,适应度广,小巧便携,方便移动,无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用,都具有独特优势!

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关键词:检漏方法,氦质谱检漏,氦气检漏

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